本發(fā)明包括一種具有物理氣相沉積靶（１０２）的組件（１３０），其通過(guò)層（１０４）與背襯板（１２０）分開(kāi)，該層主要由鉬和鉭中的一種或兩種構(gòu)成。本發(fā)明還包括一種組件，該組件包括一至少含鋁９９．９％的背襯板，該鋁背襯板通過(guò)具有至少約６０００鎊／平方英寸（ｐｓｉ）的強(qiáng)度的結(jié)合被結(jié)合到至少含鉬９９．９％的靶上。此外，本發(fā)明包括一種將含鎢的材料結(jié)合到含鋁的材料上的方法。在含鎢的材料（１０２）和含鋁的材料（１２０）之間設(shè)有一層含鉬的材料（１０４），并且含鉬的材料被結(jié)合到含鎢的材料（１０２）和含鋁的材料（１２０）上。