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晶片輸送機臺

申請號/專利號： 200910265509
本發明有關于一種晶片輸送機臺，其主要包括有一第一輸送單元、一第二輸送單元、一漂浮式輸送單元及至少一引導單元，其中漂浮式輸送單元設置在第一輸送單元及第二輸送單元之間，并用以將晶片由第一輸送單元傳送至第二輸送單元，引導單元設置在漂浮式輸送單元的側邊，并用以對漂浮式輸送單元上的晶片進行導正，使得通過漂浮式輸送單元的晶片被引導至第二輸送單元的固定或鄰近區域，此設置在第二輸送單元上的檢測單元將可以對晶片的相似區域進行量測。
申請日： 2009年12月25日
公開日： 2010年06月16日
授權公告日：
申請人/專利權人： 立曄科技股份有限公司
申請人地址： 中國臺灣新竹市
發明設計人： 黃志浩
專利代理機構： 北京律誠同業知識產權代理有限公司
代理人： 梁揮 祁建國
專利類型： 發明專利
分類號：
H01L21/677;H01L21/683
標簽：輸送機    晶片輸送機臺
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